隨著(zhù)科學(xué)技術(shù)的進(jìn)步，在60年代初發(fā)明了半導體探測器以后，對X-熒光進(jìn)行能譜分析成了可能。能譜色散型X熒光光譜儀(ED-XRF)，用X射線(xiàn)管產(chǎn)生原級X射線(xiàn)照射到樣品上，所產(chǎn)生的特征X射線(xiàn)(熒光)直接進(jìn)入半導體探測器，便可以據此進(jìn)行定性分析和定量分析。

　　接下來(lái)讓我們一起來(lái)了解一下X熒光光譜儀的兩種分類(lèi)介紹吧。

　　X熒光光譜儀是一種較新型可以對多元素進(jìn)行快速同時(shí)測定的儀器。在X射線(xiàn)激發(fā)下，被測元素原子的內層電子發(fā)生能級躍遷而發(fā)出次級X射線(xiàn)(即X-熒光)。能量色散(ED-XRF)和波長(cháng)色散(WD-XRF)是從不同的角度來(lái)觀(guān)察描述X射線(xiàn)所采用的兩個(gè)物理量。

　　1、能量色散熒光光譜儀

　　能量色散法是將X射線(xiàn)激發(fā)被測所有元素的熒光簡(jiǎn)單過(guò)濾后，全部進(jìn)入到檢測器中，利用儀器和軟件來(lái)分出其中的光譜。

　　如測的為元素周期表中相鄰的兩個(gè)元素，會(huì )因光譜重疊而產(chǎn)生測量誤差。能量色散型儀器最大的優(yōu)點(diǎn)是不破壞被測的材料或產(chǎn)品，也不需要專(zhuān)業(yè)人員操作，缺點(diǎn)是對鉻和溴是總量測定(一般不影響使用，因為很多情況可以判定，如測鉻總量超標，?？芍遣皇橇鶅r(jià)鉻超標，特別是溴，如被作為阻燃劑加入，不管是那種溴，總量超標就不合格)。

　　2、波長(cháng)色散熒光光譜儀

　　波長(cháng)法是因其激發(fā)出的熒光足夠強，進(jìn)到儀器中用來(lái)分析的光譜是單一元素(“過(guò)濾”了不需測的元素)，不含其它元素的光譜，所以測量數據很準確。這種儀器的靈敏度比能量色散型高一個(gè)數量級，也就是說(shuō)，所測的數據并不存在“灰色地域”，不存在測定后還需拿到檢測機構復檢。缺點(diǎn)是，波長(cháng)法需將被測材料粉碎壓制成樣本后測才準確。所以，用在材料廠(chǎng)適合。如不制成樣本(非破壞)，會(huì )因材料表面形狀不同而產(chǎn)生不同誤差。儀器操作也不需要專(zhuān)業(yè)人員。